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光学薄膜测量综合实验RLE-RI04
伴随着21世纪初光电子技术的雪崩式发展,光学薄膜器件的应用向着性能要求和技术难度更高、应用范围和知识领域更广、器件种类和需求数量更多的方向迅速发展。为了使学生适应发展需求、拓展知识范围、增加知识深度、开阔视野和提升能力,RealLight开发了光学薄膜测量综合实验,针对市场上常用的镀膜片进行研究,从镀膜的原理到实际样品的测试,逐步深入,是学生了解光学镀膜原理和应用的必然之选。
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RLE-RI03 光学薄膜测量综合实验

实验简介

伴随着21世纪初光电子技术的雪崩式发展,光学薄膜器件的应用向着性能要求和技术难度更高、应用范围和知识领域更广、器件种类和需求数量更多的方向迅速发展。为了使学生适应发展需求、拓展知识范围、增加知识深度、开阔视野和提升能力,RealLight®开发了光学薄膜测量综合实验,针对市场上常用的镀膜片进行研究,从镀膜的原理到实际样品的测试,逐步深入,是学生了解光学镀膜原理和应用的必然之选。

 

实验内容


1、光谱仪的原理与使用实验;

2、白光干涉测薄膜厚度实验;

3、镀膜介质折射率测量实验;

4、单层膜特性模拟实验;

5、减反射膜模拟与测试实验;

6、增反射膜模拟与测试实验;

7、截止滤光片模拟与测试实验;

8、带通滤光片模拟与测试实验;

9、分光镜模拟与测试实验;

10、带通滤光片的角特性实验。


知识点

减反射膜、加反射膜、金属膜、分光镜、二向色镜、带通滤光片、白光干涉、薄膜测厚、能量比、反射率、透过率

 

选配设备参数

计算机(基本配置)。

 

主要设备参数

1.光源组件:

尺寸:190x150x66mm,光谱范围:360-2500nm,输出灯泡:6Watts3.5mW after 400umfiber),稳定性:0.2% RMS,漂移:0.3% per hour,稳定时间:15min,寿命:2000hrs(灯泡),色温:3000K,工作温度:5~40℃,温度要求:5%~95%,供电:220V/AC,输出方式:SMA905,工作模式:恒流、缓启动功能。

2.探测器组件:

波长范围:350~1000nm;光学分辨率:1nm;狭缝:25μm;光纤连接器:SMA905;探测器: 2048像元阵列CCD,每个像元14um×200um;信噪比:20001;全光谱;A/D分辨率:12bit;积分时间:4ms~6.5sUSB通讯与供电,无需外部电源;通过CE认证;具备外触发功能;功耗:250mA5VDC;尺寸:91mm×60mm×34.5mm;重量:0.3kg

3.薄膜测试样品:

减反射膜:镀单层氟化镁,全波段增透,透过率增加3%

介质高反膜:最大反射率95%,基材:青板;45°入射;

二向色镜:透红绿反蓝,透红反绿;S1AR420-680nm@R<1%S2面二向分光膜;工作波段透射平均值T>95%,工作波段反射平均值R>95%

带通滤光片:IAD多层介质硬膜,波峰透过T>85%,带外截止深度OD2-OD4

分光镜:工艺方式IAD多层介质硬膜;S1面,AR膜工作波段镀AR膜,R<0.5%S2面,分光膜;工作波段镀分光膜,误差±2%

4.辐射式积分球:

使用高反射率漫反射涂料Spectraflect,有效光谱范围:350-2400nm,反射率>98%@600nm,热稳定性100℃,激光损伤阈值1.7J/cm2,内径50mm,两开口,采样口配置防尘盖和SMA905适配器,矩形外形设计,便于加持使用。

5.反射式光纤:

反射式光纤跳线:探头端部采用61光纤束设计,6根照明光纤,中央1根光纤收集反射光;

光纤芯径:200μm;数值孔径:0.22NA;长度:2m长;铠甲护套;SMA905接头。

6.光纤准直镜:

适用波段:200~2500nm,Φ6mm通光口径,SMA905接口,焦长12.7mm,带微调;

7.光纤跳线:

光纤芯径:400μm;数值孔径:0.22NA;长度:100±10cm3mm铠甲护套;SMA905接头。

8.软件:

8-1薄膜测厚软件:包含光谱预处理方法、回归算法、拟合算法、傅立叶变换信号处理算法、最小二乘算法,分步测量引导,薄膜测量厚度范围50nm~50μm

8-2镀膜仿真与设计软件组件

1)主界面4大功能分区,包括单层膜、减反射膜、介质高反膜和滤光片;

2)均可设置基底、介质和介质折射率,改变参数,反射率透过率曲线实时更新。

9.实验手册及保修卡




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